真空泵市场及应用领域的变化和发展

本文摘要：真空泵是一个量大面广的产品，产量相当大，产值不低，但它显然是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。

真空泵是一个量大面广的产品，产量相当大，产值不低，但它显然是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵从低/超强真空到细/较低真空，其产品大体归纳14大类：低/超强真空——低温泵、分子泵、喷发物离子泵、钛升华泵、蔓延泵。

中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。细/较低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。真空泵的市场根据用户的必须而再次发生动态变化。

市场快速增长的主要驱动力来自于半导体工业的很快发展以及干泵和分子泵应用领域的日益不断扩大。目前，全球真空泵市场的年销售额大约20亿美元，年增长率在7％左右。我国生产真空泵的厂家很多，全部真空泵的年销售额约在1、5亿元左右，仅有相等于美国Kinney公司一家真空泵的年销售额。

通过对全球真空泵市场的分析我们可以显现出，各类真空泵的市场及应用领域都在大大变化和发展。我国真空泵制造业具有历史悠久的历史和实力雄厚的基础，国产真泵早已在各个有所不同领域获得应用于并经过检验，有些泵还出口国外，获得国外用户的接纳并受到好评，应当说道我国真空泵制造业在国内外市场依然具有极大的发展空间。

1、液环泵虽然液环泵归属于细真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、纺织、医药等领域依然具有相当大的市场。在国外，液环泵的销售额占到全部真空泵市场的14％，次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我国投资建厂或创建销售网络，不断扩大在我国的市场份额。

由于液环泵大部分是铸件，加工拒绝也不低，科劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改良设计，增大体积，减低重量，提高效率，减少能耗。2、滑阀泵由于滑阀泵较为轻巧、可信，国内外各种真空炉、镀膜机以及潮湿、风干等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件轻，加工工作量较小，所以国外各真空厂都在中国找寻合作伙伴。为了使国产滑阀泵需要转入国际市场，必需更进一步减少泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提升滑阀泵长年运营的可靠性。3、直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量更加大。

由于这种泵数量很多，加工组装工作量相当大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国创建专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上早已破关，价格又远比国外的泵低廉，所以国产泵依然有竞争优势，关键是要解决问题轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，保证直联泵在高速、高温下性能平稳和运营可信，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

4、罗茨泵从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占到全球罗茨泵销售额的比例都没有多达5％，这5家总计才20％，罗茨泵产量并不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要低得多。目前，国内外完全所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了延长抽气时间、提升生产效率都备有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在攻占国内市场基础上设法转入国际市场，这样就必需更进一步减少国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改良泵的外观质量，提升泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更加要保证罗茨泵在提升扭矩的情况下长年运营的可靠性。

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展迅速，技术上早已成熟期。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被加热的气体通过管道回到泵腔以加热转子，从而使传输热得均衡，所以这种泵可以直排大气。为了符合有所不同无限大真空度的拒绝，这种泵可以串联用于，一般前面特一台气冷式直排大气罗茨泵，所超过的无限大真空要比前级泵低一个数量级。

这种泵由于在泵腔内没工作介质，实质上也是归属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组早已在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。5、分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来替换低温泵，特别是在是喷发物、光刻和LCVD等装置都彩填充分子泵和机车泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅有为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵宽。

为了提升抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称作低温分子泵，水蒸汽被低温板捕捉，其他气体则由分子泵用尽。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用于，既提升了生产效率又提高了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业很快发展，分子泵应当是我国真空泵制造业发展的重点。

首先，分子泵要从小到大创建原始系列，并研究研发各种填充分子泵、机车泵和低温分子泵，以符合有所不同场合的必须。6、干泵国外干泵市场的大大快速增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的很快发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵替换油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵替换了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。

为了符合有所不同应用领域和有所不同工况的拒绝，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。无限大压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。多达，目前国产干泵的应用于还严重不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格*便宜。

所以，我国不应大力研究研发干泵，使腊泵沦为我国真空工业新的经济增长点。

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